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離子束微納加工儀

離子束切割拋光儀MINICP-2G

  • ?離子束切割拋光儀采用離子拋光技術(shù),使用惰性氣體氬,通過將氬氣離子化后,在電場加速作用下轟擊到樣品表面,利用動量轉(zhuǎn)移的方式進行可控速率條件下,物理濺射轟擊的方式對樣品表面進行精細拋光處理
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詳情介紹

?離子束切割拋光儀采用離子拋光技術(shù),使用惰性氣體氬,通過將氬氣離子化后,在電場加速作用下轟擊到樣品表面,利用動量轉(zhuǎn)移的方式進行可控速率條件下,物理濺射轟擊的方式對樣品表面進行精細拋光處理,滿足掃描電鏡、EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求。


離子束切割拋光儀技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

MINICP-2G

樣品尺寸要求

樣品平移:±15mm(特殊需要可定制樣品臺)

功能

高效2離子槍配置、支持低溫、支持真空換樣薄、拋光、刻蝕、樣品冷卻、樣品真空轉(zhuǎn)移

切割樣品:長≤10mm;厚≤1.3mm;高≤4mm

氣源

高純氬氣,純度要求≥99.999%

樣品旋轉(zhuǎn)速度

1-6r/min

氣體流量

≤1sccm

樣品平移范圍

±15mm

極限真空

≥5*10-3Pa

樣品平移速度

0.1-1mm/m

離子能量

1keV~10keV

儀器尺寸

500 mm×500mm×500mm

冷卻溫度

液氮傳導(dǎo)冷卻(選配)

整體重量

≈50kg

真空移樣

隔絕空氣的樣品轉(zhuǎn)移(選配)

電源

AC 220V,50Hz

界面切割速度

60μm/h (Cu)



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