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?離子束切割拋光儀采用離子拋光技術，使用惰性氣體氬，通過將氬氣離子化后，在電場加速作用下轟擊到樣品表面，利用動量轉移的方式進行可控速率條件下，物理濺射轟擊的方式對樣品表面進行精細拋光處理，滿足掃描電鏡、EBSD等表面敏感分析技術制樣需求。
離子束切割拋光儀技術參數
產品型號 | MINICP-2G | 樣品尺寸要求 | 樣品平移：±15mm（特殊需要可定制樣品臺） |
功能 | 高效2個離子槍配置、支持低溫、支持真空換樣、減薄、拋光、刻蝕、樣品冷卻、樣品真空轉移 | 切割樣品：長≤10mm；厚≤1.3mm；高≤4mm | |
氣源 | 高純氬氣，純度要求≥99.999% | 樣品旋轉速度 | 1-6r/min |
氣體流量 | ≤1sccm | 樣品平移范圍 | ±15mm |
極限真空 | ≥5*10-3Pa | 樣品平移速度 | 0.1-1mm/m |
離子能量 | 1keV~10keV | 儀器尺寸 | 約500 mm×500mm×500mm |
冷卻溫度 | 液氮傳導冷卻（選配） | 整體重量 | ≈50kg |
真空移樣 | 隔絕空氣的樣品轉移（選配） | 電源 | AC 220V，50Hz |
界面切割速度 | 60μm/h (Cu) |
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